Der Ort Illwangen wird erstmals 1216 urkundlich erwähnt. Der Begriff „Wangen“ bezieht sich auf einen feuchten Wiesenhang.

Sehr unterschiedliche Grundherrschaften besaßen im Lauf der Zeit Güter in
Illwangen: Die Klöster Petershausen, Reichenau und Salem sowie die Fürstenberger Grafen. Die Illwanger Bauern waren Leibeigene dieser Lehensherren.

Über den dazugehörigen Mariahof berichtet eine Urkunde von 1288, dass die Ritter von Hasenstein auf ihr „Güt im Schefgartn bü Illwangen, genannt das Vischlehen“ verzichten. Auf dem Mariahof befand sich die (inzwischen abgerissene) Zehntscheuer des Ortes Illwangen.

Unter dem Eindruck der Gräuel des Dreißigjährigen Krieges ließ der Großbauer Blasius Fetscher 1670 eine katholische Kapelle und ein Mesnerhaus auf seinem Anwesen Im Hof erbauen. Die Kapelle wurde bald zu einer Wallfahrtstätte, der Name wandelte sich von Im Hof zu Mariahof. Ein Stiftungsfond diente der
Finanzierung regelmäßiger Messen; Pilger wurden mit Wein und Brot versorgt.

Nach der Stiftungsurkunde von 1727 sollten „aus dem Überschus, was nicht zu dem notwendigen Bedirfnis der Kapelle und den gewehnlichen Auslagen aufgeht“ Arme und Kranke der Umgebung unterstützt werden. Der Kapellenfonds existiert heute nicht mehr. Der Unterhalt der Kapelle wird aus dem Kirchenfonds von Illmensee bestritten. 1899 wurde das Hofgut an die Spitalverwaltung Pfullendorf verkauft.

1850 errichtete der Mechaniker Joseph Kohler in Illwangen ein Wasserkraftwerk, mit dem er einen Eisendrehstuhl und einen große Schleifstein betrieb sowie eine Gelbgießerei. Er goss hier die Spritzwerkzeuge der örtlichen Feuerwehr und die Glocke der St. Loreto-Kapelle in Mariahof. Das Wasser
kam aus einem durch einen alten Damm (Wühre) aufgestauten Fischweiher, aus dem sich je nach Bedarf der Zustrom an Wasser regeln ließ. Reichtümer hat Joseph Kohler mit seiner Pioniertat nicht erwirtschaftet: Im hohen Alter soll er im Armenhaus, dem Mesnerhaus Mariahof, gewohnt haben.